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진공이란(1)

2012-09-24 09:52:39

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진공이란...

일반적으로 진공이란 정해진 공간이 비어 있음을 의미하는데 일정한 공간에 존재하는 공기 및 가스를 제거한 상태를 말한다. 공간내에 아무것도 존재하지 않는 완전진공(0)이란 불가능 하며, 실제적으로 일정한 공간에 기체의 압력이 대기압보다 낮을 때를 진공이라 부른다.

진공의 구분

진공시스템은 보통작동압력에 의해 분류된다. 가장 널리 사용되는 분류방법중의 하나는 다음과 같다.


구분(CLASSIFICATION)	압 력 (PRESS RANGE) 범위
저진공(LOW VACUUM)	760 Torr ∼1 Torr	100kPa ∼ 100Pa
중진공(MID VACUUM)	1 Torr ∼ 10^-3 Torr	100Pa ∼ 0.1Pa
고진공(HIGH VACUUM)	10^-3 Torr ∼ 10^-7 Torr	0.1Pa ∼ 10μPa
초고진공(EXTRA HIGH VACUUM)	10^-7 Torr ∼ 10^-10 Torr	10μPa ~ 10⁴μPa
극고진공 (EXTREMLY HIGH VACUUM)	10^-10 Torr ∼ (Less)	10⁴μPa ∼ (Less)

압력의 단위

진공도는 압력을 나타내며 대기압은 760mmHg로서 수은주 760mm 높이에서 누르고 있는 힘이라 할 수 있다.
수은주 760mm의 높이를 1mm로 하였을때의 압력은 1mmHg 또는 1Torr라고 하며 자주 사용되는 압력을 비교하면 다음과 같으며,Torr와 milltorr가 더욱 일반적으로 사용되고 있다

1기압(atm) = 1.013 ×10^-5 Pa = 1013 mmbar = 1.013 bar
= 14.7 PSI = 76 ×10^-4 mmTorr = 29.9 inHg
= 760 mmHg = 760 Torr = 1 std atm


구 분	Torr	atm	μbar	lat	psi	pa
1Torr(mmHg)	1	1,316*10^-3	1.333*10³	1.360*10^-3	1.934*10^-2	1.333*10²
1atm	760	1	1.013*10⁶	1.033	14.70	1.0133*10⁶
1dyne/cm²(μ bar)	7.501*10^-4	9.869*10^-7	1	1.020*10^-6	1.450*10^-5	0.1
1kg/cm²	735.6	9.678*10^-1	9.807*10⁵	1	14.22	9.807*10⁴
1lb/in²(Psi)	51.72	6.805*10^-2	6.895*10⁴	7.031*10^-2	1	6.895*10³
1 Newton/m²(Pa)	7.501*10^-3	9.869*10^-6	10	1.020*10^-5	1.450*10^-4	1

진공도에 따른 작업영역 / 적용되는 펌프의 종류


진공영역	진공도 범위	적용되는 공정	적용되는 진공펌프
저진공 Rough Vacuum	760 Torr ∼1 Torr	진공흡착 및 이송 크린룸 구성 인쇄기 자동급지 진공농축 반응기 진공토련기 진공성형 진공농축(탈수) 진공포장	건식 로타리 베인펌프 급유식 로타리 베인펌프 수봉식 펌프 스팀이젝터 왕복동식 펌프 드라이 펌프
중진공 Medium Vacuum	1 Torr ∼ 10^-3 Torr	진공건조 진공탈기 진공합침 진공증유 진공소결 진공열처리 진공로 진공야금 진공동결건조 가스주입장치	다단식 로터리 베인펌프 멀티스팀이젝터 루츠펌프(메카니칼 부스터) 피스톤 펌프 확산 펌프 드라이 펌프 흡착 펌프
고진공 High Vacuum	10^-3 Torr ∼ 10^-7 Torr	진공코팅 진공동결건조 진공합금 진공가스치환 진공씰링 진공용접 이온주입	확산 펌프 터보분자 펌프 흡착 펌프 저온냉각 펌프 이온 펌프 크라이오 펌프 승화 펌프


	진공이란(2)

	[전기/전자]Varistor의 특징